
Đột phá laser quang khắc của Trung Quốc “đe doạ” vị thế của ASML
Các nhà nghiên cứu tại Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc (CAS) vừa công bố một bước đột phá trong công nghệ laser cực tím sâu (DUV). Theo đó, họ đã phát triển một loại laser trạng thái rắn có bước sóng lên tới 193 nm – bước sóng tiêu chuẩn trong quang khắc bán dẫn hiện nay...