Nga đã công bố lộ trình phát triển máy in quang khắc (EUV) ít tốn kém và ít phức tạp hơn so với các hệ thống của ASML...
Lộ trình phát triển công nghệ quang khắc của Nga sẽ được tiến hành theo ba giai đoạn - Ảnh minh hoạ
CNews đưa tin Nga muốn thiết kế laser hoạt động ở bước sóng 11,2 nm thay vì tiêu chuẩn 13,5 nm của ASML. Dĩ nhiên, bước sóng này sẽ không tương thích với cơ sở hạ tầng EUV hiện có và điều này buộc Nga phải phát triển hệ sinh thái quang khắc của riêng mình, có thể sẽ mất nhiều năm, nếu không muốn nói là một thập kỷ hoặc hơn.
Sáng kiến bán dẫn của Nga được dẫn dắt bởi chuyên gia Nikolay Chkhalo từ Viện Vật lý Vi cấu trúc của Viện Hàn lâm Khoa học Nga. Nga tin rằng công nghệ EUV của mình sẽ có hiệu suất đủ mạnh để cạnh tranh với dòng quang khắc đang chiếm lĩnh thị trường của ASML, đồng thời giảm chi phí sản xuất và vận hành so với các dòng EUV của công ty Hà Lan.
Không giống như các hệ thống quang khắc EUV của ASML, máy EUV của Nga sẽ sử dụng nguồn laser dựa trên xenon với bước sóng 11,2 nm thay vì các hệ thống dựa trên thiếc của ASML. Chuyên gia Nikolay Chkhalo cho biết bước sóng 11,2nm giúp cải thiện 20% độ phân giải, cho phép tạo ra cấu trúc bán dẫn chi tiết tốt hơn đồng thời đơn giản hóa thiết kế và giảm chi phí của các thành phần quang học. Sự điều chỉnh này làm giảm đáng kể vấn đề ô nhiễm của các yếu tố quang học, kéo dài tuổi thọ của các bộ phận quan trọng như bộ thu và viên bảo vệ của máy.
Tuy nhiên, các máy quang khắc của Nga sẽ kém mạnh hơn ASML, với thông lượng thấp hơn khoảng 2,7 lần do sử dụng nguồn sáng 3,6 kW. Tuy nhiên, hiệu suất này được coi là đủ cho sản xuất quy mô nhỏ.
Mặc dù. bước sóng 11,2 nm vẫn nằm trong phổ cực tím, tuy nhiên, thay đổi này không phải là sự điều chỉnh nhỏ. Điều đó có nghĩa là tất cả các yếu tố quang học - chẳng hạn như gương, lớp phủ, thiết kế mặt nạ và điện trở - phải được thiết kế và tối ưu hóa phù hợp bước sóng mới. Nguồn laser, công nghệ kiểm soát ô nhiễm và các công nghệ hỗ trợ khác cũng sẽ cần được tái thiết kế để hoạt động hiệu quả ở bước sóng 11,2 nm.
Do đó, các máy EUV của Nga với bước sóng 11,2nm sẽ không tương thích với cơ sở hạ tầng EUV và hệ sinh thái hiện có được xây dựng xung quanh máy quang khắc 13,5nm. Trên thực tế, ngay cả các công cụ tự động hóa thiết kế điện tử cũng sẽ phải được cập nhật cho các công cụ EUV với laser 11,2nm.
Lộ trình phát triển công nghệ quang khắc của Nga sẽ được tiến hành theo ba giai đoạn. Giai đoạn đầu tiên tập trung vào nghiên cứu nền tảng, xác định các công nghệ chính và thử nghiệm các thành phần ban đầu. Giai đoạn thứ hai liên quan đến việc tạo ra một nguyên mẫu có khả năng xử lý sáu mươi tấm wafer 200 mm mỗi giờ và tích hợp nó vào dây chuyền sản xuất chip trong nước. Giai đoạn thứ ba cung cấp một hệ thống sẵn sàng cho nhà máy có khả năng xử lý 60 tấm wafer 300 mm mỗi giờ. Tuy nhiên, hiện chưa rõ thời gian cụ thể cho mỗi giai đoạn phát triển máy in quang khắc của Nga.
Quang khắc (Photolithography) là một công nghệ quan trọng trong sản xuất bán dẫn, được sử dụng để tạo ra các cấu trúc siêu nhỏ trên bề mặt wafer silicon, là nền tảng của các vi mạch điện tử. Quang khắc dựa trên việc sử dụng ánh sáng để "vẽ" các mẫu vi mạch (patterns) trên lớp vật liệu cảm quang (photoresist) phủ trên bề mặt wafer. Đây là bước tiến quan trọng giúp gia tăng mật độ bóng bán dẫn trên một con chip, qua đó nâng cao hiệu suất, giảm tiêu thụ năng lượng và thu nhỏ kích thước sản phẩm.
ASML, một công ty công nghệ hàng đầu đến từ Hà Lan hiện là nhà cung cấp độc quyền trên thế giới các máy quang khắc tiên tiến nhất sử dụng công nghệ EUV (Extreme Ultraviolet Lithography). Công ty này đã đầu tư hàng chục tỷ USD và hàng chục năm nghiên cứu để phát triển công nghệ EUV. ASML hiện cung cấp máy quang khắc cho các công ty bán dẫn hàng đầu thế giới như TSMC, Samsung Electronics, Intel, SK Hynix và Micron Technology.
Cổ phiếu hàng loạt doanh nghiệp bán dẫn hàng đầu châu Á đồng loạt giảm mạnh trong phiên giao dịch ngày thứ Ba, trong đó Reuters đánh giá thị trường Hàn Quốc chịu áp lực lớn nhất...
Khi chuỗi cung ứng toàn cầu tái cấu trúc, Việt Nam có cơ hội lịch sử để trở thành điểm đến của sản xuất hiện đại, ứng dụng công nghệ cao. Tuy nhiên, thực tế hiện nay, các doanh nghiệp sản xuất Việt Nam đang đối mặt với áp lực, thách thức lớn về khả năng giám sát hoạt động theo thời gian thực và đáp ứng các tiêu chuẩn truy xuất nguồn gốc ngày càng nghiêm ngặt từ thị trường quốc tế.
Nhu cầu bùng nổ từ trí tuệ nhân tạo (AI) đang tạo động lực tăng trưởng mạnh cho ngành chip nhớ toàn cầu. Hưởng lợi từ xu hướng này, hãng sản xuất chip nhớ Trung Quốc ChangXin Memory Technologies (CXMT) đã tăng hơn 500% ngay trong phiên chào sàn, vượt ICBC để trở thành doanh nghiệp có giá trị vốn hóa lớn nhất Trung Quốc đại lục…
Trên khắp Việt Nam, các doanh nghiệp sản xuất đang đẩy mạnh chuyển đổi số nhằm nâng cao vị thế trong chuỗi giá trị toàn cầu. Từ ngành điện tử, ô tô đến bán dẫn và công nghệ cao, các công cụ như mô phỏng, cộng tác trên nền tảng đám mây và thiết kế dựa trên dữ liệu đang trở thành nền tảng nâng cao năng lực cạnh tranh và đáp ứng các tiêu chuẩn quốc tế.
Những cam kết trong Nghị định thư Montreal đặt ra bài toán phải chuyển đổi công nghệ cho các doanh nghiệp lĩnh vực điều hòa không khí di động, không khí gia dụng; lĩnh vực thiết bị lạnh công nghiệp, lạnh thương mại. Dự án "Quản lý bền vững các chất được kiểm soát theo Nghị định thư Montreal" vừa chính thức được khởi động nhằm hỗ trợ doanh nghiệp chuyển đổi, đáp ứng các cam kết quốc tế.
Phát triển đô thị theo định hướng giao thông công cộng (TOD) kết hợp với mạng lưới đường sắt đô thị (metro) là chiến lược cốt lõi để giải quyết ùn tắc và tái cấu trúc không gian. Mô hình này tập...
VnEconomy cập nhật giá vàng trong nước & thế giới hôm nay: SJC, 9999, giá vàng USD/oz, biến động giá vàng tăng, giảm - phân tích, dự báo & dữ liệu lịch sử.
Interactive là một sản phẩm báo chí mới của VnEconomy vừa được ra mắt bạn đọc từ đầu tháng 3/2023 đã gây ấn tượng mạnh với độc giả bởi sự mới lạ, độc đáo. Đây cũng là sản phẩm độc quyền chỉ có trên...
